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珠海3D玻璃测量解决方案解决方案处理方法 欢迎来电 岱珂机电供应

上传时间:2021-07-13 浏览次数:
文章摘要:上海岱珂机电非接触式晶圆测量系统:•对射式非接触式同轴激光位移传感器测量;•直线电机高精度龙门运动机构;•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量;•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性;•兼容1-8英寸规格晶圆样

上海岱珂机电非接触式晶圆测量系统:

•对射式非接触式同轴激光位移传感器测量;

•直线电机高精度龙门运动机构;

•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量;

•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性;

•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品);

•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm;

•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架;

•比较大扫描速度1m/s;

•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式;

•直观简单的2D或3D数据呈现方式;

•适用于厚度,TTV,LTV,珠海3D玻璃测量解决方案解决方案处理方法,TIR,珠海3D玻璃测量解决方案解决方案处理方法,Sori,珠海3D玻璃测量解决方案解决方案处理方法,Taper,Bow和Warp测量参数及标准。 使用岱珂DUO控制器及多层测厚软件,可以轻松测量多达9层透明物体的厚度。珠海3D玻璃测量解决方案解决方案处理方法

上海岱珂机电设备有限公司

3D测量设备-4轴/5轴3D测量机

搭配线激光或线光谱实现3D扫描测量,适用3C样品通用扫描(治具和标定块不同)

•3D轮廓度,3D尺寸等

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全自动固定桥式光谱共焦测量仪

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